ОбаВакуумный насос и компрессорявляются устройствами для обработки газа, но их принципы работы и объем применения разные.
Основная функция вакуумного насоса состоит в том, чтобы удалить газ из реакционной камеры, чтобы снизить давление в контейнере для достижения заранее определенной степени вакуумной степени. Газ извлекается из пространства с помощью механизма всасывания и выхлопных газов, чтобы сформировать вакуумное состояние. Вакуумные насосы обычно используются в лабораториях, производственных и производственных областях. В пластинах, оборудовании для травления, оборудовании осаждения, литографическом оборудовании EUV, оборудовании для ионного имплантации, оборудовании для обнаружения и характеристик и т. Д. Все необходимо пылесосить.
Функция компрессора заключается в вдыхании газа и сжимаю его, увеличивает давление газа, сжимает газ в меньший объем и увеличивает плотность и давление газа. Принцип его работы состоит в том, чтобы сжать газ через выпускной клапан, а затем положить сжатый газ в бензобак или другое оборудование. Компрессоры обычно используются в области обработки и производства. Газ CDA, о котором мы часто говорим, предоставляется компрессором. CDA используется для управления различным автоматическим оборудованием и клапанами. Для производства полупроводников CDA должен быть очень чистым и сухим. Выход воздуха компрессором должен пройти через сложную систему фильтрации для удаления масла, влаги и других частиц, чтобы гарантировать, что не было загрязнения пластины.
Какие категорииВакуумный насос и компрессор?
В полупроводниковом оборудовании обычно используются сухие насосы и молекулярные насосы. Сухой насос относится к вакуумному насосу, который не использует какую -либо жидкость в качестве уплотнения или охлаждающей среды, избегая проблемы загрязнения паров масла. Обычно используется для грубой вакуумной добычи полупроводникового оборудования. Молекулярные насосы могут достигать чрезвычайно высоких уровней вакуума. Сухие насосы и молекулярные насосы часто используются в комбинации в полупроводниковом оборудовании для удовлетворения потребностей различных уровней вакуума.
Компрессоры можно разделить на поршень, винт, центробежный, вращающийся воздушный компрессоры и т. Д.
Из -за различных конструкций и принципов работы вакуумного насоса и компрессора вакуумные насосы обычно не могут заменять компрессоры. Хотя вакуумные насосы могут снизить давление и плотность газов, они не могут сжимать газы в меньшие объемы и более высокие давления. Кроме того, благодаря ограниченной производительности и рабочим характеристикам вакуумных насосов они лучше всего подходят для обработки газов с низкой плотностью и среды низкого давления.
Следовательно, если газ необходимо сжать в меньший объем и более высокое давление, следует использовать компрессор. Напротив, если газ необходимо извлечь и формируется вакуумное состояние, следует использовать вакуумный насос.
Хотя обаВакуумный насос и компрессорУстройства используются для обработки газа, существуют большие различия в принципе дизайна и работы. Хотя вакуумный насос может снизить давление и плотность газа, он не может заменить компрессор, особенно когда газ необходимо сжать в меньший объем и более высокое давление.
